FormtracerExtreme(超级表面粗糙度/轮廓测量装置)SV-C3000CNC/SV-C4000CNC

525系列—表面粗糙度/形状测量仪

 

特点

•高精度CNC表面粗糙度／形状测量仪，一机二用：可进行表面粗糙度和形状／轮廓测量。

•每轴驱动速度最高可达200mm/秒，实现高速定位，满足多轮廓／多工件的测量任务。

•带á轴的机型可通过电动倾斜检测器，对水平和倾斜表面进行连续测量。

•带Y轴工作台的机型可通过Y轴轴向定位，扩大测量任务的范围，如多工件任务等。

•SV-C4000CNC系列的轮廓驱动器配备激光全息光栅尺，可提高宽／窄范围测量精度和Z1轴分辨率。

•通过同时控制X轴和Y轴的方向，可实现倾斜平面的测量。

•通过简单的一次性操作，可更换形状／轮廓测量装置与表面粗糙度测量装置，并且，不必对连接电缆重新布线。

•由于Z1轴检测器内置了防撞器，当检测器主体即将碰撞工件或夹具时，检测器将自动?；?。

•配有易于操作的?？叵洌和ü礁霾僮莞?，选定需要操作的轴，即可实现任何移动。键上端的轴向图标易于辨认，轻松操作。

•通过USB与数据处理／分析器通信。

 

基本技术参数:

基座尺寸(WxH):750x600mm

基座材料:花岗岩

重量:240kg,250kg(高立柱型)

电源:100–240VAC±10%,50/60Hz

能耗:500W(主机)

 

轮廓测量技术参数:

X1轴

　测量范围:200mm

　分辨率:0.05μm

　检测方法:反射型线性编码器

　驱动速度:200mm/s(最大CNC)

0-60mm/s(操纵杆)

　测量速度:0.02-2mm/s

　移动方向:向前／向后

　直线度:2μm/200mm

*以X轴为水平方向上

　指示精度:±(1+0.02L)μm,　(20°C时)*L为驱动长度(mm)

a轴

　倾角:-45°至+10°

　分辨率:0.000225°

　旋转速度:1rpm

Z2轴(立柱)

　垂直移动:300mm或500mm

　分辨率:0.05μm

　检测方法:反射型线性编码器

　驱动速度:200mm/s(最大CNC)

0-60mm/s(操纵杆)

Z1轴(检测器)

　测量范围:±25mm

　分辨率:0.2μm(SV-C3100CNC),0.05μm(SV-C4100CNC)

　检测方法:线性编码器(SV-C3100CNC),

激光全息测微计(SV-C4100CNC)

　直线位移:±(3+I2HI/25)μm(SV-C3100CNC)

精度：(20°C时)±(0.8+I0.5HI/25)μm(SV-C4100CNC)

*H为基于水平位置的测量高度(mm)

　测针上／下运作:弧形移动

　测针方向:向下

　测力:30mN

　跟踪角度:向上:70°,向下:70°(根据表面粗糙度，使用标准单切面测针)

测针针尖尖端半径:25μm、硬质合金尖端

 

表面粗糙度测量的技术参数：

X1轴

　测量范围:200mm

　分辨率:0.05μm

　检测方法:反射型线性编码器

　驱动速度:200mm/s(最大CNC)

0-60mm/s(操纵杆)

　测量速度:0.02-2mm/s

　移动方向:向后

直线度:0.5μm/200mm

a轴

　倾角:-45°至+10°

　分辨率:0.000225°

　旋转速度:1rpm

Z2轴(立柱)

　垂直移动:300mm或500mm

　分辨率:0.05μm

　检测方法:反射型线性编码器

　驱动速度:200mm/s(最大CNC)

0-60mm/s(操纵杆)

检测器(选件)

　范围／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(使用测头选件时，最大可达2400μm)

　检测方法:无轨／有轨测量

　测力:4mN或0.75mN(低测力型)

　测针针尖:金刚石、90º/5μmR

(60º/2μmR:低测力型)

　导头曲率半径:40mm

　检测方法:差动电感式

 

选件

防震台架

防震台装置:膜片空气弹簧

自然频率:2.5-3.5Hz

减震机构:阻尼孔

调水平装置:带机械阀的自动控制装置

气源气压:0.4Mpa

承载:350kg

尺寸(WxDxH):1000x895x715mm

重量:280kg

Y轴工作台装置

测量范围:200mm

最小读数:0.05μm

标尺装置:反射型线性编码器

驱动速度:200mm/s(最大CNC)

0-60mm/s(操纵杆)

最大承载能力:20kg

直线度:0.5μm/200mm

指示精度(20°C时):

±(2+2L/100)μm，轮廓模式

L为两个测量点之间的距离(mm)

工作台尺寸:200x200mm

尺寸(WxDxH):320x646x105mm

重量:35kg

 

订货信息