分辨率／重复精度为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.1+0.6L/600)μm。 确保垂直度(前部)达6μm，直线度达4μm。 全／半空气浮动系统可调节气垫。 带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，可实现外部测量数据评估。 半自动测量时具有单键操作功能。 通过Digimatic工具实现数据输入。 可选择多种信息语言包括英语、德语、法语、西班牙语、意大利语、荷兰语、葡萄牙语、瑞典语、捷克语、匈牙利语、斯诺文尼亚语、波兰语、繁体中文*、朝鲜语**和日语。 *可选　**仅限518-341K和518-342K型